海寧半導體實驗室裝修、千級超凈間建設工程及方案-SAREN三仁

發布時間：2020-03-25

隨著各類產品生產工藝技術、產品性能的不斷研究開發、升級和各種使用要求，工業裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是5G熱潮襲來、半導體集成電路的高速發展是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴格的重要標志。 千級凈化車間的應用較為廣泛，在醫院手術室、機械電子等行業的裝修設計中潔常有使用。千級潔凈室指的是微塵數量被控制在每立方米1000個以內，同時為了防止潔凈空間受外界污染，在室內壓差上也有所要求，通常要求內部壓力（靜壓）＞外部壓力（靜壓）；潔凈度要求高的空間壓力＞潔凈度要求低的空間壓力；潔凈室門的朝向應開向潔凈度級別高的房間。更多的千級凈化車間裝修設計標準和一般做法詳見下文  一、千級凈化車間的裝修設計標準 1. 千級凈化車間的建筑通常劃分為土建結構和裝配式兩種，其中裝配式更為普遍，主要包括由初級、中級、高級空氣過濾器構成的空調送回風系統、排風系統及其他配套系統。 2. 千級凈化車間的室內空氣參數設置要求： 溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5％。 新風量：非單向流潔凈室總送風量的10-30％；補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。 送風量：要滿足無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡。 千級凈化車間的一般做法 關于千級凈化車間的一般做法，三仁將以電路板千級凈化車間的三種設計方案來比較分析。此處案例為蘇州一個美資柔性電路板EPC總承包項目中的一個典型工藝房間，溫濕度要求在（21±2）℃，濕度控制在（55±10）%。 1. 方案一：AHU（空調機組）+HEPA 2. 方案二：MAU（新風機組）+RAU（循環機組）+HEPA 3. 方案三：AHU（空調機組）+FFU（風機過濾單元） 對比三種方案發現三種方案造價差異不大，但方案三由于使用了大量循環風且只經過一次過濾，在運行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市場上，千級凈化車間隨著FFU價格的降低，越來越受到設計師和建設方的喜愛。

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